رونمایی چین از یک منبع فشرده لیتوگرافی فرابنفشِ شدید چین از یک منبع فشرده لیتوگرافی فرابنفشِ شدید رونمایی کرده است که امکان ساخت تراشههای ۱۴ نانومتری را بدون ماشینهای غولپیکر لیتوگرافی مواد نیمههادی پیشرفته فراهم میکند.